Транспектор CPM 3
Енапарт се снабдява с продукти чрез своите офиси, ситуирани в 14 различни държави, за да ви оферира най-добри цени на местно равнище. Свържете се с нас и с удоволствие ще изготвим специално ценово предложение за вас. Можете да го направите чрез контактната форма или като ни изпратите запитване по имейл.
Анализатор на остатъчен газ за ALD, Etch, CVD и 300 mm DEGAS — позволява мониторинг и анализ на процесите в реално време
ALD-Ready със скорост
на измерване 1.8 ms в точка (555 точки в секунда) Доказана издръжливост и надеждност в най-взискателните CVD и Etch приложения Интеграция — Transpector CPM се превръща в мощен инструмент за мониторинг и диагностика, когато е интегриран със софтуера FabGuard и поддържан от експерти по
приложения от световна класа на INFICON Компактният размер интеграция в производството
полупроводниково оборудване
Hexblock™ с до три входа за налягане и намалена повърхност за минимизиране на повърхностните реакции и времето
за реакция Капацитетен диафрагмен измервател (CDG) —CDG позволява на потребителя да следи налягането на процеса и автоматично да защитава системата от предварителни екскурзии
Автоматизираното калибриране осигурява дългосрочна стабилност и точност на данните за съответствието от сензор и
